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Plasma Spray Parameters of TiO2 Targets Used in Magnetron Sputtering
Jaramillo-Raquejo, Daniela; Palacio-Espinosa, Claudia Constanza; Ageorges, Hélène (Instituto Tecnológico Metropolitano - ITM, 2020-01-30)La síntesis de películas delgadas por pulverización catódica o sputtering requiere la utilización de blancos o targets, que actúan como los materiales a partir de los cuales se elaboran los recubrimientos. Este trabajo ...