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Performance characterization of an xy-stage applied to micrometric laser direct writing lithography

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Autores

Jaramillo J.

Zarzycki A.

Galeano J.

Sandoz P.

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Editor

Tipo de Material

info:eu-repo/semantics/article

Fecha

2017

Citación

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Notas

URL del Recurso

URI

https://hdl.handle.net/20.500.12622/3479

Identificador ISBN

Identificador ISSN

Identificador DOI

10.3390/s17020278

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