Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo

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Date
2017-05-02
Author
Zarzycki, Artur
Gambin, Wiktor L.
Bargiel, Sylwester
Gorecki, Christophe
Keywords
MEMS; microsistemas; micro fabricación; micro tecnología; micro-escáner; micro espejo de escaneo.
Metadata
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URI
http://hdl.handle.net/20.500.12622/1016
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