• Communities & Collections
    • By Issue Date
    • Authors
    • Titles
    • Subjects
    • Document type
    • español
    • English
    • português (Brasil)
  • Self archiving
  • Browse 
    • Communities & Collections
    • By Issue Date
    • Authors
    • Titles
    • Subjects
    • Document type
  • English 
    • español
    • English
    • português (Brasil)
  • Login
View Item 
  •   Institutional repository ITM
  • Revistas
  • Revistas Científicas
  • TecnoLógicas
  • Vol. 20 Núm. 39 (2017)
  • View Item
  •   Institutional repository ITM
  • Revistas
  • Revistas Científicas
  • TecnoLógicas
  • Vol. 20 Núm. 39 (2017)
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Browse

All of ITMCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsDocument typeThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsDocument type

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics
Statistics GTMView statistics GTM

Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo

Thumbnail
View/Open
697-Manuscrito-984-1-10-20180411.pdf (1.715Mb) 
QRCode
Share this
Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo
Date
2017-05-02
Author
Zarzycki, Artur
Gambin, Wiktor L.
Bargiel, Sylwester
Gorecki, Christophe

Citation

       
TY - GEN T1 - Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo AU - Zarzycki, Artur AU - Gambin, Wiktor L. AU - Bargiel, Sylwester AU - Gorecki, Christophe Y1 - 2017-05-02 UR - http://hdl.handle.net/20.500.12622/1016 AB - Este trabajo muestra un mecanismo de acción, un diseño y una fabricación de un nuevo dispositivo de escaneo - un micro-espejo. Los micro-espejos se pueden encontrar en los lectores de códigos de barras, así como en los micro proyectores, en sistemas de tomografía óptica coherente, o en los filtros ajustables de espectrómetros. El proceso de formación del nuevo dispositivo nos llevó a describir y discutir los problemas relacionados con la fabricación de MEMS (sistemas microelectrónicos). En primer lugar, se da una terminología y una breve introducción al campo de los microsistemas. A continuación, se explica un concepto del nuevo micro-espejo de escanéo. El dispositivo es accionado por dos pares de actuadores termo-bimorfos. Un diseño especial permite mantener la distancia constante desde el centro del espejo a la fuente de luz durante el proceso de escaneo. El dispositivo se implementó en dos versiones: un micro-espejo con un grado de libertad y un micro-espejo con dos grados de libertad. Se describe un proceso de fabricación para los dos tipos del dispositivo que utiliza dos tipos diferentes de sustrato. El primer tipo de sustrato corresponde a una oblea de silicio estándar, el segundo substrato corresponde a un SOI (Silicon-On-Insulator). El proceso con la oblea de silicio estándar fue complicado y causó muchos problemas. Cambiar el sustrato a SOI ayudó a resolver algunos de ellos, pero no permitió evitar algunos nuevos. Sin embargo, el sustrato SOI da mejores resultados y se encuentra que es preferible fabricar dispositivos MEMS de este tipo. ER - @misc{20.500.12622_1016, author = {Zarzycki Artur and Gambin Wiktor L. and Bargiel Sylwester and Gorecki Christophe}, title = {Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo}, year = {2017-05-02}, abstract = {Este trabajo muestra un mecanismo de acción, un diseño y una fabricación de un nuevo dispositivo de escaneo - un micro-espejo. Los micro-espejos se pueden encontrar en los lectores de códigos de barras, así como en los micro proyectores, en sistemas de tomografía óptica coherente, o en los filtros ajustables de espectrómetros. El proceso de formación del nuevo dispositivo nos llevó a describir y discutir los problemas relacionados con la fabricación de MEMS (sistemas microelectrónicos). En primer lugar, se da una terminología y una breve introducción al campo de los microsistemas. A continuación, se explica un concepto del nuevo micro-espejo de escanéo. El dispositivo es accionado por dos pares de actuadores termo-bimorfos. Un diseño especial permite mantener la distancia constante desde el centro del espejo a la fuente de luz durante el proceso de escaneo. El dispositivo se implementó en dos versiones: un micro-espejo con un grado de libertad y un micro-espejo con dos grados de libertad. Se describe un proceso de fabricación para los dos tipos del dispositivo que utiliza dos tipos diferentes de sustrato. El primer tipo de sustrato corresponde a una oblea de silicio estándar, el segundo substrato corresponde a un SOI (Silicon-On-Insulator). El proceso con la oblea de silicio estándar fue complicado y causó muchos problemas. Cambiar el sustrato a SOI ayudó a resolver algunos de ellos, pero no permitió evitar algunos nuevos. Sin embargo, el sustrato SOI da mejores resultados y se encuentra que es preferible fabricar dispositivos MEMS de este tipo.}, url = {http://hdl.handle.net/20.500.12622/1016} }RT Generic T1 Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo A1 Zarzycki, Artur A1 Gambin, Wiktor L. A1 Bargiel, Sylwester A1 Gorecki, Christophe YR 2017-05-02 LK http://hdl.handle.net/20.500.12622/1016 AB Este trabajo muestra un mecanismo de acción, un diseño y una fabricación de un nuevo dispositivo de escaneo - un micro-espejo. Los micro-espejos se pueden encontrar en los lectores de códigos de barras, así como en los micro proyectores, en sistemas de tomografía óptica coherente, o en los filtros ajustables de espectrómetros. El proceso de formación del nuevo dispositivo nos llevó a describir y discutir los problemas relacionados con la fabricación de MEMS (sistemas microelectrónicos). En primer lugar, se da una terminología y una breve introducción al campo de los microsistemas. A continuación, se explica un concepto del nuevo micro-espejo de escanéo. El dispositivo es accionado por dos pares de actuadores termo-bimorfos. Un diseño especial permite mantener la distancia constante desde el centro del espejo a la fuente de luz durante el proceso de escaneo. El dispositivo se implementó en dos versiones: un micro-espejo con un grado de libertad y un micro-espejo con dos grados de libertad. Se describe un proceso de fabricación para los dos tipos del dispositivo que utiliza dos tipos diferentes de sustrato. El primer tipo de sustrato corresponde a una oblea de silicio estándar, el segundo substrato corresponde a un SOI (Silicon-On-Insulator). El proceso con la oblea de silicio estándar fue complicado y causó muchos problemas. Cambiar el sustrato a SOI ayudó a resolver algunos de ellos, pero no permitió evitar algunos nuevos. Sin embargo, el sustrato SOI da mejores resultados y se encuentra que es preferible fabricar dispositivos MEMS de este tipo. OL Spanish (121)
Bibliographic managers
Refworks
Zotero
BibTeX
CiteULike
Metadata
Show full item record
PDF Documents
Abstract
Este trabajo muestra un mecanismo de acción, un diseño y una fabricación de un nuevo dispositivo de escaneo - un micro-espejo. Los micro-espejos se pueden encontrar en los lectores de códigos de barras, así como en los micro proyectores, en sistemas de tomografía óptica coherente, o en los filtros ajustables de espectrómetros. El proceso de formación del nuevo dispositivo nos llevó a describir y discutir los problemas relacionados con la fabricación de MEMS (sistemas microelectrónicos). En primer lugar, se da una terminología y una breve introducción al campo de los microsistemas. A continuación, se explica un concepto del nuevo micro-espejo de escanéo. El dispositivo es accionado por dos pares de actuadores termo-bimorfos. Un diseño especial permite mantener la distancia constante desde el centro del espejo a la fuente de luz durante el proceso de escaneo. El dispositivo se implementó en dos versiones: un micro-espejo con un grado de libertad y un micro-espejo con dos grados de libertad. Se describe un proceso de fabricación para los dos tipos del dispositivo que utiliza dos tipos diferentes de sustrato. El primer tipo de sustrato corresponde a una oblea de silicio estándar, el segundo substrato corresponde a un SOI (Silicon-On-Insulator). El proceso con la oblea de silicio estándar fue complicado y causó muchos problemas. Cambiar el sustrato a SOI ayudó a resolver algunos de ellos, pero no permitió evitar algunos nuevos. Sin embargo, el sustrato SOI da mejores resultados y se encuentra que es preferible fabricar dispositivos MEMS de este tipo.
Abstract
This paper presents the working principle, design, and fabrication of a silicon-based scanning micromirror with a new type of action mechanism as an example of MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Micromirrors can be found in barcode readers as well as micro-projectors, optical coherence tomography, or spectrometers’ adjustable filters. The fabrication process of the device prompted us to describe and discuss the problems related to the manufacture of MEMS. The article starts with some terminology and a brief introduction to the field of microsystems. Afterwards, the concept of a new scanning micromirror is explained. The device is operated by two pairs of thermal bimorphs. A special design enables to maintain a constant distance from the center of the mirror to the light source during the scanning process. The device was implemented in a one degree-of-freedom micromirror and a two degree-of-freedom micromirror. The fabrication process of both types is described. For each case, a different type of substrate was used. The first type of substrate was a standard silicon wafer; the second one, SOI (Silicon-On-Insulator). The process with the first one was complicated and caused many problems. Replacing this substrate with SOI solved some of the issues, but did not prevent new ones from arising. Nevertheless, the SOI substrate produces much better results and it is preferable to manufacture this type of MEMS devices.
Palabras clave
MEMS; microsistemas; micro fabricación; micro tecnología; micro-escáner; micro espejo de escaneo.
keywords
MEMS; microsystems; microfabrication; microtechnology; microscanner; scanning micromirror
URI
http://hdl.handle.net/20.500.12622/1016
Statistics Google Analytics
Collections
  • Vol. 20 Núm. 39 (2017) [15]

Related items

Showing items related by title, author, creator and subject.

  • Thumbnail

    Relationship between practices of improvement engineering and sales of micro, small and medium enterprises [Relación entre las prácticas de ingeniería del mejoramiento y las ventas en las micro, pequeñas y medianas empresas] 

    Flórez Rendón A.L.; Cogollo Flórez J.M. (2017)
  • Thumbnail

    Una metodología de diseño de micro redes para zonas no interconectadas de Colombia 

    Garzón-Hidalgo, Juan D.; Saavedra-Montes, Andrés J. (Instituto Tecnológico Metropolitano (ITM), 2017-05-02)
    En este artículo se propone una metodología para diseñar microrredes en zonas no interconectadas de Colombia. El diseño de la microrred se realiza siguiendo la normativa eléctrica colombiana. Las etapas de la metodología ...
  • Thumbnail

    Novel Wide-Bandwidth Polarization Filter Based on H-Shaped Micro-Structured Optical Fiber with Gold Nano-strip 

    Gomez-Cardona N.; Reyes-Vera E.; Jimenez-Durango C.; Usuga-Restrepo J.; Torres P. (2018)

Departamento de Biblioteca y Extensión Cultural
bibliotecaitm@itm.edu.co

Contact Us | Send Feedback