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Title: Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo
Authors: Zarzycki, Artur
Gambin, Wiktor L.
Bargiel, Sylwester
Gorecki, Christophe
Keywords: MEMS
micro fabricación
micro tecnología
micro espejo de escaneo.
Issue Date: 2-May-2017
Other Identifiers:
Appears in Collections:Vol. 20 Núm. 39 (2017)

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