Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/20.500.12622/1016
Title: Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo
Authors: Zarzycki, Artur
Gambin, Wiktor L.
Bargiel, Sylwester
Gorecki, Christophe
Keywords: MEMS
microsistemas
micro fabricación
micro tecnología
micro-escáner
micro espejo de escaneo.
Issue Date: 2-May-2017
URI: http://hdl.handle.net/20.500.12622/1016
Other Identifiers: https://revistas.itm.edu.co/index.php/tecnologicas/article/view/697
10.22430/22565337.697
Appears in Collections:Vol. 20 Núm. 39 (2017)

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